高壓電源:又名高壓發生器,一般是指輸出電壓在五千伏特以上的電源,一般高壓電源的輸出電壓可達幾萬伏,甚至高達幾十萬伏特或更高。
發展方向:一是提高電源功率,即高電壓、高電流;二是縮小電源體積,即高電壓,小體積,縮小電源的體積主要是提高電源的開關頻率。高功率電源,往往體積較大,而小體積電源,往往電流較小,功率較低。除此之外,高轉換效率,高負載,高精度,低紋波,也是高壓電源的研究方向。
高壓電源用途:主要包括了X光機高壓電源,激光高壓電源,光譜分析高壓電源,無損探傷高壓電源,半導體制造設備高壓電源,毛細管電涌高壓電源,無損檢測高壓電源,半導體技術中的粒子注入高壓電源、物理汽相沉積高壓電源(PVD),納米光刻高壓電源,用于離子束沉積、離子束輔助沉積、電子束蒸發、電子束焊接、離子源、直流磁控反應濺射、玻璃/織物鍍膜、輝光放電、微波處理高壓電容測試、CRT顯示器測試、高壓電纜故障測試(PD testing)、TWT測試、H-POT測試。粒子加速器、自由電子激光、中子源、回旋加速源器、電容電感脈沖發生網絡、Marx高壓脈沖發生器、電容充電器。微波加熱、射頻放大、納米技術應用、靜電技術應用、靜電紡絲制備納米纖維,核儀器用高壓電源等的高壓電源產品。